Resistiivinen
Resistiivinen anturi on laite, joka muuntaa mitatut fysikaaliset suureet, kuten siirtymän, muodonmuutoksen, voiman, kiihtyvyyden, kosteuden, lämpötilan jne. vastusarvoiksi. Pääasiassa on resistiivisiä venymäantureita, pietsoresistiivisiä, lämpövastus-, lämpö-, kaasuherkkiä, kosteusherkkiä ja muita resistiivisiä anturilaitteita.
Resistiivinen venymämittari
Anturin resistiivisillä venymäantureilla on metallinen jännitysvaikutus, eli mekaaninen muodonmuutos tapahtuu ulkoisen voiman vaikutuksesta, jolloin resistanssiarvo muuttuu vastaavasti. Vastusvenymäantureita on kahta päätyyppiä: metalli ja puolijohde, ja metalliset venymämittarit jaetaan lankatyyppiin, foliotyyppiin ja ohutkalvotyyppiin. Puolijohteisten venymäantureiden etuna on korkea herkkyys (yleensä kymmeniä kertoja lanka- ja kalvotyypeihin verrattuna) ja pieni poikittaisvaikutus.
Pietsoresistinen
Pietsoresistiiviset anturit ovat laitteita, jotka on valmistettu diffuusiovastuksen avulla puolijohdemateriaalien substraatille puolijohdemateriaalien pietsoresistiivisen vaikutuksen mukaan. Substraattia voidaan käyttää suoraan mittausanturielementtinä ja diffuusiovastus on liitetty alustaan sillan muodossa. Kun substraatti muuttaa muotoaan ulkoisen voiman vaikutuksesta, vastusarvot muuttuvat ja silta tuottaa vastaavan epätasapainoisen ulostulon.
Pietsoresistiivisinä antureina käytetyt substraatti- (tai kalvo)materiaalit ovat pääasiassa piikiekkoja ja germaniumkiekkoja, ja piikiekoista tehdyt pietsoresistiiviset piikiekot herkkinä materiaaleina ovat herättäneet yhä enemmän huomiota erityisesti painetta ja nopeutta mittaaviin solid-state-pietsoresistiivisiin sensoreihin.
RTD
Resistanssilämpötilan mittaus perustuu siihen, että metallijohtimen resistanssi kasvaa lämpötilan noustessa. Lämmönkestävyys on enimmäkseen valmistettu puhtaista metallimateriaaleista, platina ja kupari ovat yleisimmin käytettyjä, ja materiaaleja, kuten nikkeliä, mangaania ja rodiumia, on alettu käyttää lämpöresistanssien valmistukseen.
RTD-anturit mittaavat lämpötilaa ja lämpötilaan liittyviä parametreja käyttämällä sitä tosiasiaa, että vastusarvo muuttuu lämpötilan mukaan. Tämä anturi sopii paremmin tilanteisiin, joissa lämpötilan havaitsemisen tarkkuus vaaditaan. Laajemmat RTD-materiaalit ovat platina, kupari, nikkeli jne., joilla on suuri lämpötilavastuskerroin, hyvä lineaarisuus, vakaa suorituskyky, laaja lämpötila-alue ja helppo käsittely. Sitä käytetään lämpötilan mittaamiseen välillä -200 astetta ~+500 astetta.